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    廣樹(shù)CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機

    更新時(shí)間:2023-08-25

    訪(fǎng)問(wèn)次數:1139

    廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家

    簡(jiǎn)要描述:

    廣樹(shù)CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機詳細資料:
    主要用途
    適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝;
    適應于半導體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(cháng);
    可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;

    品牌其他品牌應用領(lǐng)域醫療衛生,電子,交通
    顯示精度0.1℃升降系統兩套伺服升降系統平臺
    控制系統智能程序化PLC控制系統最高溫度700℃

    廣樹(shù)CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機特點(diǎn):


    采用隔板設計,批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數千個(gè)鏡片;


    智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進(jìn)氣程序,操作簡(jiǎn)單方便;


    優(yōu)質(zhì)干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵;


    智能化CVD進(jìn)氣控制系統,適應于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合;


    *的密封系統,泄漏率低,長(cháng)期使用穩定性高;


    廣樹(shù)CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機詳細資料


    主要用途


    適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片碳鍍膜工藝;


    適應于半導體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(cháng);


    可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;


    產(chǎn)品技術(shù)參數


    產(chǎn)品型號:GS-30-700廣樹(shù)      


    最高溫度 700℃;


    使用氣氛: 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體;


    長(cháng)期使用:400-700℃;


    動(dòng) 度: ±1℃;


    顯示精度: 0.1℃;


    勻 度: 容積30L;


    進(jìn)氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計控制,一路浮子流量計控制;


    升降系統 兩套伺服升降系統平臺;


    控制系統:智能程序化PLC控制系統;


    真空泵真空度 極限真空1Pa;


    腔內真空度≤10Pa;


    降溫要求:外置冷卻風(fēng)機,降溫階段強制降溫;


    整機功率: 18KW;


    : 380V, 50Hz;


    水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機,PLC聯(lián)機控制


    保護裝置: 過(guò)載、過(guò)流、過(guò)壓保護,接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護裝置;冷卻水溫保護,壓


    力過(guò)載保護;


    技術(shù)服務(wù): 提供設備使用過(guò)程中的技術(shù)咨詢(xún)和支持,接到客戶(hù)故障通知3個(gè)工作時(shí)內立即響應。



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    上海廣樹(shù)機電有限公司

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