高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機特點(diǎn)：

采用多層隔板設計，批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝，每爐可放數千個(gè)鏡片；

智能化PLC程序升溫程序，真空程序，CVD進(jìn)氣程序，操作簡(jiǎn)單方便；

優(yōu)質(zhì)干式真空泵，杜絕油液污染，可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵；

智能化CVD進(jìn)氣控制系統，適應于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合；

*的密封系統，泄漏率低，長(cháng)期使用穩定性高；

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機詳細資料：

主要用途

適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝；

適應于半導體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(cháng)；

可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝；

產(chǎn)品技術(shù)參數

產(chǎn)品型號：GS-30-700廣樹(shù)      

最高溫度： 700℃；

使用氣氛： 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體；

長(cháng)期使用：400-700℃；

波 動(dòng) 度： ±1℃；

顯示精度： 0.1℃；

均 勻 度： 容積30L；

進(jìn)氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計控制，一路浮子流量計控制；

升降系統： 兩套伺服升降系統平臺；

控制系統：智能程序化PLC控制系統；

真空泵真空度： 極限真空1Pa；

腔內真空度：≤10Pa；

降溫要求：外置冷卻風(fēng)機，降溫階段強制降溫；

整機功率： 18KW；

電 源 ： 380V, 50Hz；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機,PLC聯(lián)機控制

保護裝置： 過(guò)載、過(guò)流、過(guò)壓保護，接地，熱電偶異常報警，第二回路超溫報警保護裝置；冷卻水溫保護，壓

力過(guò)載保護；

技術(shù)服務(wù)： 提供設備使用過(guò)程中的技術(shù)咨詢(xún)和支持，接到客戶(hù)故障通知3個(gè)工作時(shí)內立即響應。